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超高温真空/气体高纯化炉

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
随着国民经济和科学技术的发展，在光伏行业、动力燃料电池、半导体行业、光纤行业、蓝宝石、碳化硅、氮化铝、砷化镓等晶体生长、航天、核发电站以及新材料的研发中，对产品本身的杂质含量有很高的要求，杂质含量通常为ppm级（百万分之一）及ppb级（十亿分之一）。
研发超高温真空/气体高纯化炉及纯化工艺是生产低金属杂质含量（灰分＜5ppm）石墨产品的必备关键装备和技术，对我国新材料的发展意义...
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