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基于MEMS技术的Lamb波阵列免疫传感器

2014年

应用技术

中期阶段

成果简介

通过本项目的实施，实现硅基 AlN-MEMS阵列生化免疫Lamb波传感器阵列化和样机的开发，开发自主知识产权的基于SOI硅片的Lamb波阵列传感器的制备技术和工艺方法，在5×15mm芯片上，制备8通道AlN薄膜器件；单个芯片内，器件间的幅值差异小于5%；单个基片内，膜厚度差异小于5%；样机对神经毒素检测灵敏度0.1ppm，测量时间小于1分钟。通过本项目的实施，可以自主掌握关键技术并申请发...

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