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皮秒激光微加工系统

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
为了解决当前高能物理和精细光谱研究等领域实际要求的楔条型WSZ位置灵敏多阳极图案高精度加工问题；为了掌握超精细激光加工领域内的关键技术和形成我国完整的自主知识产权，推动我国精密制造行业的技术进步；为了带动我院激光精密加工与测试、精密机械、计算机辅助控制等相关学科的发展，提升我院科研装备自主创新能力，最终实现全固态激光微纳加工系统的商品化和产业化；中科院在光电研究院光电工程部所提出的”紫外、...
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