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一种铁电隧道结室温红外探测器及制备方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明是一种铁电隧道结室温红外探测器及制备方法。其特征在于,器件结构自下而上依次为是衬底、金属底电极、铁电功能层和半透金属上电极。器件制备步骤是在柔性薄膜衬底表面蒸发或溅射金属作为底电极,然后在底电极表面运用LB法生长厚度1-6纳米PVDF基聚合物薄膜作为铁电功能层,随后在铁电功能层上运用蒸发或溅射方法制备金属上电极形成铁电隧道结,最后减薄衬底。器件是通过通入微小恒定电流,光照下测量电极两...
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