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面向OLED应用的柔性基底上高透过高防渗透多层无机阻隔膜研究

2014年

基础理论

成果简介

目前，许多国家都在大力开发有机电致发光二极管（OLED）这一最具发展前景的显示技术。然而， OLED器件商品化所面临的最大的挑战之一是其寿命问题。因此，在柔性基底上制备具有优良水、氧阻隔性能的阻隔层薄膜，对延长器件的使用寿命起到十分重要的作用。近年来，采用原子层沉积技术（ALD）制备超薄Al2O3薄膜，具有较好阻隔性能。但单层Al2O3薄膜一方面水、氧透过率有待进一步降低，另一方面其较高折...

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