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用于紫外光刻机的光刻照明系统

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于紫外光刻机的光刻照明系统，包括：紫外激光器、一维连续变倍扩束镜组、衍射光学元件转盘机构（含有多个衍射光学元件）、傅里叶变换透镜、匀光系统和控制器，所述的衍射光学元件转盘机构沿圆周均匀地设有多个衍射光学元件。在此种紫外光刻照明系统中，紫外激光器产生平行光束，沿光束传输方向依次是所述的一维连续变倍扩束镜组、转盘机构的衍射光学元件、傅里叶变换透镜和匀光系统。所述的一维连续变倍扩束镜组将紫...
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