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控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置及其加工方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种控制气体氛围的飞秒激光微纳加工装置，包括真空腔体、可编程位移平台、CCD、显微镜、电离规、电阻规、控制电源、微调阀门、真空泵、飞秒激光、可编程控制位移平台和CCD的计算机的结构。真空腔体、微调阀门和真空泵可进行抽真空与选择性引入气体操作，飞秒激光经显微物镜聚焦后通过光学窗口进入真空腔室与样品作用，真空腔室内的样品由计算机控制位移平台带动进行三维移动。本发明可实现真空条件或一定气体氛围下...
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