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提高超分辨相位板光斑性能的装置

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板、数值孔径NA=0.95的物镜、非线性饱和吸收薄膜，所述的三环纯相位型超分辨相位板的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为： =0， = ， =0；所述的物镜与所述的三环纯相位型超分辨相位板紧贴，所述的 非线性饱和吸收薄膜位于所述的物镜的焦平面，该 非线性饱和吸收...
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