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薄膜光热性能的测量装置和测量方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种薄膜光热性能的测量装置和测量方法。本发明是在原有的表面热透镜技术的基础上，通过改变泵浦光束的调制频率，来获取探测信号的幅值和相位信号随频率的变化关系。将此关系与理论模型的计算结果对比后，可以得到薄膜内部的一些重要信息。本发明不仅能够测量薄膜的吸收率，还可以测量出单层膜的热导率以及一些强吸收杂质的深度分度，因此可以对薄膜的光热性能做出全面的评价，对优化镀膜工艺和探寻损伤机制等方面都有较大...
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