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光电功能晶体产业化技术开发

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本课题是受北京市科委委托烁光特晶科技有限公司承担，于2001年7月至2003年10月完成。本课题的研究目的是将低腐蚀隧道密度石英晶体应用于声表面波器件，防止其在腐蚀加工过程中形成贯穿隧道，导致器件失效。人造石英晶体是采用水热温差结晶法，在高压釜内进行生产的，用天然熔炼水晶放在高压釜的较热底部做为原料，籽晶片悬挂在温度较低的上部，高压釜内填充一定浓度和数量的碱溶液，高压釜内保持设定温差使上下...
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