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位置敏感传感器的标定装置和标定方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感传感器的响应范围，线性度，精度和动态响应误差等。本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种用于光刻机的位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置和方法可实现位置敏感传...
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