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类金刚石复合二硫化钼纳米多层薄膜及其制备方法

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
①课题来源与背景：高硬度类金刚石薄膜和磁控溅射二硫化钼薄膜是近年来在航空航天、高技术装备无油润滑系统等领域应用较多的两种固体润滑薄膜。其中高硬度和低摩擦类金刚石薄膜是近年来关注较多的新型防护薄膜，它具有耐磨与润滑一体化特性。但是类金刚石薄膜存在高应力和脆性等瓶颈问题，直接限制了其在高技术领域的广泛应用，因此具有强韧化特性的类金刚石薄膜一直是产业界追求的理想薄膜材料。
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