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超高声速材料金刚石纳米膜制备及平坦化技术研究

2014年

应用技术

初期阶段

成果简介

近年来，随着无线通讯技术的高速发展，使得无线通信频带成为一个有限而宝贵的自然资源。人们对高数据传输速率的要求使得声表面波(SAW)器件的使用频率不断提高。该发展趋势迫使广大研究学者不断探索高质量超高声速材料制备技术和微细化叉指换能器(IDT)。金刚石具有所有物质中最高的弹性摸量(1098GPa)，较低的质量密度(3.51g/cm3)，具有最高的声波传播速度，从而成为高频SAW器件衬底材料的...

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