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高品质ITO靶材的研发

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
随着平板显示产业的快速发展,各种平板显示产品(如电视、电脑、手机等等)已在日常生活中普及应用,一个以平板显示为主流的数字显示时代已经来临。ITO(指铟锡复合氧化物)靶材作为重要的光电信息材料,主要应用于平板显示器产业中所需的ITO薄膜的制备。目前ITO薄膜依然是高级显示器产业不可或缺且无法替代的透明电极材料。国外对ITO靶材生产技术进行严密封锁,使我国对这一关键信息功能材料的制造技术严重滞...
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