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脉冲激光沉积动力学的构建

2014年

基础理论

成果简介

一、科学价值和背景：
PLD技术是20世纪90年代发展起来的先进制膜技术，在微电子加工等领域有广泛的应用。但其物理机理的研究显得相对滞后，国际上一直没有从整体上系统的研究PLD的机理，对于该技术的发展有很大的制约作用。从1997年，本课题组利用PLD技术制备薄膜以来，利用课题组的理论优势，20余年坚持有目的深入研究PLD的整体物理图像。2008年3月初步完成构建PLD动...

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