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DMKY型磁控溅射镀膜机PLC程序

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
用途和适用行业:磁控溅射镀膜机流程控制、真空镀膜事业。
创作目的:实现对相应的磁控溅射镀膜机进行控制。
主要功能:通过计算机与三菱PLC之间进行信息交互,从而对磁控溅射镀膜机的动作进行控制。并可在计算机上修改相关的镀膜参数,然后传递给PLC,从而完成镀膜参数的设定。并且在PLC程序中增加了自动镀膜的功能,方便用户进行操作。
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