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全自动光学测厚仪及其折射透射率数据处理方法

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本成果产品由本公司自主研发， 2013年08月07日取得了知识产权（发明专利：全自动光学测厚仪及其折射透射率数据处理方法，ZL201110401682.3），技术背景：光学测厚仪是利用光学监控技术对物件厚度进行检测的仪器，其前端装置 为模拟信号采集装置，其作用是将物件的厚度变化转换为光学领域的反射/透射 率（即反射率或透射率）的变化，通过后端的数据处理后检测出物件的厚度值。以光学零件真空镀...
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