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网格压力传感芯片及制备方法、压力分布式传感器

2014年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种网格压力传感芯片及制备方法、压力分布式传感器。网格压力传感芯片包括有绝缘底层和上层，绝缘底层和上层之间设置有行电极和列电极架构层；行电极架构层中设置有多条行电极，列电极架构层中设置有多条列电极，行电极与列电极构成网格分布；行、列电极架构层之间设置中间层，中间层内设置多个压敏体并刚好位于行、列电极交叉点处；每个压敏体的两端面分别与行电极、列电极相接；绝缘底层和上层，行、列电极...
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