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微/纳米级视觉坐标测量方法的研究

2014年 基础理论
  • 成果简介
针对测量范围大，精度和分解率能达到亚微米级尺寸的检测问题，提出了一种坐标测量和图像检测技术相结合的方法，利用不同坐标位置的序列图像进行数据处理获得相关信息。具体方法采用了合适的光学系统，坐标测量和匹配的图像传感器以获取信息，软件方面针对研究对象的特点进行的图像融合，拼接和三维重构，从序列的冗余信息中提取微小尺寸的几何量参数，并经误差分析对测量结果进行了客观的评价。其方法能较好地解决显微图像...
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