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一种用于DLC膜的表面处理工艺

2014年

应用技术

初期阶段

成果简介

一种超低摩擦薄膜表面处理工艺，首先，将含硫有机化合物作为硫化剂
溶于蒸馏水中制成硫化溶液，然后在硫化溶液中加入全氟表面活性剂；其次，
将DLC膜置于硫化溶液中，在电压为1-500V，频率为1-100Hz下电解2-10
小时，使DLC膜在基体上成灰色均匀分布为止；最后，将电解后的试样置于真空室内退火，固化即可。经此处理后薄膜的摩擦系数达到0.006，是DLC

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