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基于MEMS工艺技术的热熔式压力传感器

2014年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

一、简要技术说明及主要技术性能指标
一、产品（技术）简要说明：
产品采用具有压阻效应的MEMS硅电阻做为压力敏感部件，采用高韧度抗疲劳材料作为承压薄膜，能够测量包括空调制冷剂在内的多种具有腐蚀性的高压强流体介质的压力。通过MEMS硅电阻实现高灵敏度压力检测，并实现了一体化无缝高强度密封结构，彻底杜绝了空调系统中制冷剂内泄漏隐患。
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