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汽车用MEMS压力传感器的研发及产业化中试

2014年

应用技术

中期阶段

成果简介

1、主要研究内容：设计并小批量产业化制备高可靠的、一致性高的、抗干扰的MEMS压阻式压力传感器芯片并实现批量封装；基于本项目研制的传感器芯片，设计低成本的TPMS解决方案，通过与商用数字化处理芯片的集成实现低成本的、可替代国外同类产品并与之性能相当的压力传感模块。
技术指标：项目验收时，实现小批量生产汽车轮胎压力传感器芯片，与商用数字化芯片集成后，性能指标满足TPMS的...

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