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深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本成果涉及一种在深反应离子（DRIE）形成的深沟侧面进行半导体杂质扩散来形成加速度敏感梁的两个侧面上的压阻敏感电阻的加速度传感器及制造方法。
　　属于硅微机械传感器技术领域。其特征在于为实现电阻间的电绝缘，还采用了在DRIE形成的绝缘深沟内进行绝缘薄膜填充的方法。这种制作方法可以实现硅片内方向挠曲的加速度敏感梁的上的最大应力检测从而实现较高灵敏度。　　
同时还克...
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