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微纳校准技术的研究

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
“微纳校准技术的研究”是中国计量科学研究院和黑龙江省计量科学研究院联合承担的2010年度质检公益性行业科研专项项目《计量型扫描电子显微镜的研制及微纳校准技术的研究》的子项目《微纳校准技术的研究》（项目编号：201010006-02）。
本项目完成一套新型纳米级微位移动、静态测量校准平台，利用压电陶瓷驱动器与电容传感器组成闭环微位移发生器，系统主要由上位机、控制器、压电陶...
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