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电子式家用燃气表研发及应用

2014年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

电子式家用燃气表采用MEMS的核心技术和相关重要程序技术，进行测量的MEMS传感器由MEMS（微机电系统）技术加工而成的芯片组成，它是一种微米结构元件的新型传感器，能够精确测量气体流动时气体分子从芯片表面带走的热量和芯片表面的微小空间里的热场分布变化，直接获得气体质量流量的输出信号。
将MEMS芯片应用到气体流量测量上，进行天然气的质量计量，产品的结构将得到大幅简化，在产品性能...

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