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一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置

2014年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及多晶硅生产用氢化炉电极，特别是一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置。

　　背景技术：俄罗斯稀有金属研究院设计的一种多晶硅生产用氢化炉装置内底盘上电极密封结构，利用聚四氟乙烯材料来达到如下功能：在四氯化硅和氢气高温下发生氢化反应过程中，既要起绝缘作用，又要起绝对可靠密封作用。但是聚四氟乙烯材料只能在250°C以下才能安全使用，氢化炉内四氯化硅和氢气是...
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