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高频、大功率声表面波器件设计与制造

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该项目优化了ZnO/金刚石/硅复合多层膜的制备工艺、亚微米级金属叉指的精细加工工艺、芯片的分离切割与封装工艺，成功开发了1GHz压电晶体声表面波滤波器、2.5GHz ZnO/金刚石/硅 复合膜大功率声表面波滤波器，解决了多层膜声表面波器件的设计难题。形成了年产50万只高频声表面波器件的能力。
项目达到技术指标：工艺方面，基片表面平整度≤5nm,最小2nm,可加工图形线宽...
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