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金刚石线多线切割机研制

2014年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　1、金刚石线切割设备总体结构设计
　　主要利用金刚石线的高速往复运动对硅棒产生切割作用，包括主机、收放线系统、冷却系统、废液回收系统，研制出具有知识产权、控制精度高、布局合理的多线切割机。
　　2、金刚石线切割设备智能化控制系统设计
　　研发高度自动化的智能控制系统，对硅片切割过程中的稳定性和安全性实现实时控制和智能诊断，实现线弓自适应控制和金刚石线速度与工...
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