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大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置及监控方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种大功率热梯度化学气相渗透工艺系统监控装置，温度传感器、压力传感器、元件损坏检测器、瓦斯信号检测器以及流量计的所采集的信号传输给监控计算机，监控计算机同时输出两路信号，一路到显示器，另一路通过D/O转换器与驱动放大电路分别控制脉冲封锁继电器和中间继电器，进而控制脉冲触发电路和真空开关继电器，使得整流电路停止工作或高压开关断开。还公开了上述装置的监控方法，监控计算机采集温度、压...
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