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固态压阻式耐高温压力传感器及其制备方法

2013年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本发明提供了一种固态压阻式耐高温压力传感器及其制作方法，该传感器包括基座(1)，玻璃环(2)，SIMOX硅杯结构压阻芯片(3)，电路转接板(4)，压焊引线(5)，上盖(6)及连接电缆(7)；基座(1)与被测压力容器或管道相连接。玻璃环(2)与基座(1)和SIMOX硅杯结构压阻芯片(3)固接在一起。SIMOX硅杯结构压阻芯片(3)既作弹性元件又作为敏感元件，从而简化了传感器的结构。本发明由于...

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