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微桥谐振器的一种新型温度补偿结构

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种具有温度自补偿功能的频率输出型复合微梁谐振器，该谐振器由在同一芯片上制作的微桥谐振器和微悬臂梁谐振器组成，微桥谐振器和微悬臂梁谐振器材料相同，厚度相等或相近，制作工艺相同且同时制作，因而二者对温度变化可以同步响应；微桥谐振器和微悬臂梁谐振器距离在微米量级，因而温敏元件可精确反映微桥谐振器的温度。通过数据融合技术，作为温敏元件的微悬臂梁谐振器的谐振频率能够实时补偿温度变化对微...
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