首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

标定单晶硅晶圆晶向的方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种标定单晶硅晶圆晶向的方法，其特征在于：
1)制版
根据晶圆的大小以及加工精度的要求，设计用于晶向标定的几何版图，并采用常规工艺加工出相应的掩膜版；
2)预刻蚀加工
在硅片上加工出掩蔽层，然后利用掩膜版，将由一组呈扇形分布的矩形条组成的比对图案转移到掩蔽层中，比对图案的矩形条的中心都位于一个大圆的圆心上，而其...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统