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光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置。让扩束准直光源照在其右侧棱镜上，通过棱镜斜面将光源照射到棱镜下方的光束分割器上，再经分割器下方的共焦显微系统聚焦于沿透镜系统光轴方向扫描的被测物体上，其反射光又经原路返回到光束分割器上，通过棱镜系统由其上的光采集系统输入计算机图象信息处理系统，由此即可自动求得被测物体表面的三维形貌数据，具有测量信噪比高、灵敏度高并且可调、结构较简...
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