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钝化层压点腐蚀溶液

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
钝化层压点腐蚀溶液，包含有浓度为38％-42％的氟化铵溶液、浓度96％-99.5％的冰醋酸、浓度95％-99.5％的丙三醇及去离子水(DI水)，配比关系为(体积比)：氟化铵∶冰醋酸∶丙三醇∶DI水为0.8-1∶0.8-1∶0.1-0.3∶0.1-0.3。本发明克服了压点发黄发黑的缺点，得到了光滑光亮的压点，其腐蚀合格率大大提高。经过一年2万多4英寸硅片的使用，压点腐蚀合格率大超出预料，节约...
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