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一种碳化硅发热元件冷端部的制造方法

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种碳化硅发热元件冷端部陶瓷材料的制造方法,特征是包括11个工艺步骤;碳化硅粉料、石油焦粉、石墨粉、活性炭粉、硅粉的将质量分数分别为0.30~0.90、0.05~0.50、0~0.20、0~0.10、0~0.30;添加醇溶性、水溶性酚醛树脂质量分数为0.05~0.25、0.01~0.20;坯体在1450~1850℃反应烧结,最终制备得到主晶相为α-SiC、β-SiC和游离硅的致密...
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