国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

超高纯特气双层管道施工技术研究

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.课题研究的背景
超高纯硅烷SiH4.磷烷PH3、砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气,具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性,是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的重要原料。若发生气体泄漏,将会造成非常严重的安全事故,如常温下的硅烷SiH4气体与空气接触就会燃烧,泄漏过快还会引起爆炸,在409~846mg/m3浓度磷烷PH3环境下短时间内就会...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统