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化学气相沉积/化学气相渗透工艺尾气处理方法与设备

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种工业化CVI/CVD工艺尾气处理方法与设备，主要用于以含氯硅烷为原料的工业化生产过程的尾气处理，也可用于其它真空设备的尾气处理。本发明采用机械泵油循环沉降过滤技术、蒸汽与尾气反应处理技术和尾气处理产物分离技术对经过油过滤、固体过滤的尾气进行处理，使尾气处理后的气体、液体和固体产物的排放均满足环保要求。本发明提高了机械泵工作的稳定性，具有尾气处理设备无噪音、寿命长、成本低廉且...
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