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10Kw/2450MHz微波等离子体化学气相沉积设备

2013年

应用技术

中期阶段

成果简介

设备组成：
10Kw/2450MHz程控微波源；微波波导传输系统；模式变换器和微波等离子体反应腔；样品基片支架调节控制系统；真空获得系统；气体质量流量控制系统；自动运行的计算机控制系统。
系统技术性能指标：
1、微波源和馈能系统
工作频率：2450±20MHz
输出功率：0.5 ～ 10kW...

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