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过程控制硅压力传感器及系统

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目来源于国家863项目“过程控制硅压力传感器及系统”（项目编号2008AA042206），项目组以压阻压力传感器为研究目标，开展了以下研究工作：
1）基于SOI基片的高稳定度压阻式压力传感器芯片的研制，
2）以低应力，高稳定性，系列化为目标实现压力芯片的封装，完成可商品化有独立功能的传感器组件（金属管状结构）的研制，
3）以高...
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