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TDR-80单晶炉

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1、立项背景
8"硅单晶炉立项的背景是考虑到进入九十年代，世界半导体销售火爆异常，半导体工业掀起了难以遏止的投资热潮。全球90家新的硅片（大多为8"）生产线相继投入生产（其投资规模达到750亿美元――相当于八十年代投资的总和）。随后全球还有80多家（大多为8"）硅片生产线相继开工。仅以1997年为例，8"硅片的消费量提高了3倍多。基于此，研发8"硅单晶炉乃大势所趋。...
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