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英特神斯MEMS分析设计工具软件

2013年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目主要研究开发MEMS（ Micro-Electronic-Mechanical System微电子机械系统）多物理场耦合分析软件，利用有限元、边界元等算法对微结构进行多物理场耦合分析，包括机械、力学（形变、应力）、热学（温度、热电效应）、电学（电流、电压、压电、压阻、电磁）、声学、微流体、生物芯片、惯性器件等的静态、动态、频率、阻尼、稳态和瞬态分析。本项目将开发具有中国自主知识产权的...

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