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静电微执行器的受扰控制及其应用研究

2013年

基础理论

成果简介

本项目是关于静电微执行器的控制理论、方法与应用的基础研究。微执行器属于微机电系统（Micro Electro-mechanical system, MEMS）三部分（微型传感器、执行器和相应的处理电路）中的重要和关键的一部分，它主要是根据信号处理，控制电路发出的指令自动完成人们所需要的各种功能。在MEMS中，微执行器作为可动部分，其动作范围的大小、动作效率的高低、动作的可靠性等指标决定...

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