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高性能特种功能薄膜制造专用溅射靶材

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一、技术说明
“高性能特种功能薄膜制造专用溅射靶材”项目不但包括高纯溅射靶材的制备工作,还包括制备靶材所用原料的提纯工作,后段粉体焙烧指标的精确控制工作。因而该项目的研发及产业化需要坚实的材料科学背景,需要多种先进技术的综合运用。涉及的关键技术有:高纯材料的制备、高纯金属的熔铸、热机械加工或粉末冶金成型、材料微观组织的控制、各种尺寸工件的精密机加工、不同材料的可靠粘结等...
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