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全自动智能型热成像图形处理硅晶体生长控制系统

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该成果采用高清摄像头和自主开发的CCD测量处理系统在高温状态下连续拍摄晶体生长画面，然后通过画面图像对比差异计算晶体外形尺寸，在通过晶体生长控制软件来控制晶体拉速和功率的变化，从而达到实时控制有效生长的目的。该成果有效解决了单晶棒生长过程中的异常功率波动及温度冲击导致晶体生长失败的问题，提高了抗干扰性能的单晶直径控制精度。对直径、压力等6个单独的控制环路参数进行优化设计，实现了晶体生长过程...
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