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MEMS智能可编程压力传感器的产业化

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本项目MEMS智能可编程压力传感器是一种将数字信号调理压力传感器和可编程单片处理器进行集成一体化，此传感器模块包括一个传感器芯片以及实现传感器数字信号处理的调理芯片和可编程处理器电路的模块。采用MEMS（压阻式）技术将压力传感器和数字信号处理电路集成在一个芯片上，再通过ITM技术将符合物联网节点通讯标准要求的通讯模块同传感器集成在一起，形成节点型压力传感器模块。采用一体式的工艺结构及可编程...
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