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MOCVD设备及其中的失电保护装置

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种MOCVD设备及其中的失电保护装置，所述MOCVD设备包括用于放置晶片的托盘、和托盘直接接触并带动托盘转动的旋转轴、驱动旋转轴的电机，以及接收市电并至少向电机供电的交流电供电单元。所述失电保护装置包括不间断电源和控制单元，当供电异常时，由不间断电源的自身储备电量给电机和控制单元供电，使电机根据控制单元的控制命令按照正常的减速曲线停止，保证托盘的平稳停止，防止发生飞片、飞盘的情况发生，...
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