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四轴4细分干涉仪

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种四轴4细分干涉仪，其构成包括在沿偏振正交双频激光入射方向依次的四轴分光模块和干涉模块。所述的四轴分光系统由3个50%平面分光镜和3个45°平面反射镜组成。本发明包括四轴4细分平镜干涉仪和四轴4细分差分干涉仪，在差分干涉仪中采用可调节45°反射镜将参考光引导到与测量镜同方向放置的固定在运动物体上的参考反射镜。本发明具有元件加工易、光路调节方便、温度漂移小、各路光束温漂一致、非线性误差低和...
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