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一种复合相变材料靶材及其制备方法

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本发明是关于一种复合相变材料靶材及其制备方法。复合相变材料靶材特征在于相变材料与另外一种材料的复合，首先将其中熔点较高的材料制备成圆柱状并作为基体，采用刻蚀工艺在此基体上制备出大小形状相同且分布均匀的圆柱状小孔，然后将另外一种熔点较低的材料填充在小孔中，通过真空热压烧结工艺使两种材料结合在一起，最后采用机械抛光的方式处理表面，得到光滑、均匀致密的复合相变材料靶材。采用这种方法制备的复合相变...
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