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电子信息产品等离子体表面清洗设备的研发与制备

2013年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
等离子清洗(Plasma cleaning)，即等离子表面处理，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁等目的。...
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