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对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及制作方法

2013年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称Ｌ梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角，与框架梁相连接的每根Ｌ梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用...
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